トヨシマ電機は、窒素発生装置、クリーンルーム、クリーンブース、ドラフトチャンバー、クリーンベンチの 専門メーカーです。 TEL:0568‐75‐2151




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超純水設備用
 
 
 
     超純水設備用窒素発生装置 
 
 
 
 用途
     超純水貯蔵タンク上部空間に窒素を充填し、純水の純度を維持します。

 

 
 目的
     超純水を貯蔵するタンク内の上部空間に窒素を充填し、超純水に
    不純物が混入するのを防止します。 
    (空気中のコンタミ・炭酸ガス・酸素などの溶け込みを防ぐ。)
     洗浄に使用する超純水装置の純水貯蔵タンク(電気伝導度で
     純度を管理)を窒素発生装置と組み合わせて、純水の純度
     を維持します。
 
 導入の効果
     電気伝導度上昇によるシステム停止を防止します。
     窒素ボンベと比較して大幅なコスト削減が可能となり、また、
     わずらわしい残ガス量の管理からも解放されます。
 
 解説
     超純水とは、水に溶け込んだ酸素やミネラル・金属イオンや
     微生物等を除去して残った、理論的に純度100%に限りなく
     近いH2Oで、高純度の水のことです。超純水の不純度合い
     は電気伝導度で測定されます。超純水の中の酸素量は
     0.1ppm以下です。
     用途は幅広く、半導体製造工程や医療品の製造の他にも
   、 無塵衣の洗浄等に使われています。
 

 

   超純水設備用窒素発生装置のフロー図

 

    
 
 超純水設備用窒素発生装置本体画像
 
     
 超純水設備用窒素発生装置 設置例
 
 
         
 

  お客様のご希望に沿ったシステムを提案させていただきます

 

 
 
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