クリーンルームとは？
１、定義
クリーンルーム（clean room , CR）とは、空気清浄度が確保された部屋のことである。
JIS Z 8122では、コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、
空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定されて清浄度レベル以下に管理され、
また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、
必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている
空間と定義されています。
２、クリーンルームの分類
| インダストリアルクリーンルーム （ＩＣＲ） |
半導体を中心とする電子工業用途でのクリーンルーム、主に微粒子が対象。
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| バイオロジカルクリーンルーム （ＢＣＲ） |
主としてバイオテクノロジーの分野で用いられるクリーンルーム、
主に空気中の浮遊微生物が対象。 |
３、クリーンルームの構造
クリーンルームは、クリーンルームパーティションで壁・天井と床材を構成して、
ＨＥＰＡフィルター（超高性能フィルター）を通過した清浄な空気を絶えず供給して
部屋内を循環させ、清浄な空間を作り出します。
４、クリーンルームの規格
どの程度の塵埃を許容するかの指標として、1立方フィートあたりの空気に、
粒径0.5μm（マイクロメートル）以上の塵埃（粒子個数）がいくつあるかの数字で表します。
弊社では米国連邦規格であるFED-STD-209Dを使用しています。
・米国連邦規格FED-STD-209D
1立方フィート（1ft3）＝28.3Ｌの空気中に含まれる0.5μm以上の大きさの粒子の数の指数。
クラス１〜１０００００
・日本工業規格ＪＩＳ Ｂ ９９２０
１㎥当たりの0.1μｍ以上の粒子の最大許容粒子数を10の累乗で表示したときの指数。
クラス１〜９
ＵＳＡ ＦＥＤ−ＳＴＤ−２０９規格表
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